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红外探测器

2006年 应用技术
  • 成果简介
该种红外探测器包括有硅基衬底、充有特殊气体的密闭腔、覆盖于密闭腔上的透红外窗口薄膜及形变薄膜、测量元件等。它利用特殊气体对某一波段红外线的较强吸收性，当该气体吸收该波段红外辐射后受热膨胀产生的压力作用于覆盖膜上时，覆盖膜产生形变导致与之相关的参量变化，通过测量该参量的变化来探测红外辐射。本发明能有效地在室温下检测某一波段的红外辐射，并具有成本低、体积小、灵敏度高等特点，广泛用于预警、空间技...
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