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生物检测芯片

2016年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　本发明公开了一种基于流体光波导的生物检测芯片，属于微机械电子系统（MEMS）中的生物检测领域。其结构依次包括基底I、结构层和基底II，结构层上有与基底I和基底II平行的微管道，其两端分别与输入口5和输出口7连通。一对金属电极分别处在基底I和基底II上相应的位置上，或者处在结构层的两个内壁上。基底I上与结构层上输入口5和输出口7相应的位置上布有开孔，两段固体光波导I？8分别位于微管道两端。本发明...

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