国家科技成果网
热门搜索:  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

国家科技成果网 首页 成果 查看内容

晶圆取片器

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本实用新型提供了一种晶圆取片器。晶圆取片器包括:手柄,手柄为中空结构,在手柄上设有泄压阀,泄压阀用于对手柄内部进行泄压;真空发生器,真空发生器连接手柄的尾端;双叉支架,双叉支架包括连接臂、第一叉臂和第二叉臂,连接臂固定在手柄的前端,第一叉臂和第二叉臂分别固定在连接臂的两端;吸盘,吸盘通过弹性气管连接手柄的前端,且吸盘位于第一叉臂和第二叉臂之间,吸盘的吸附面略高于第一叉臂和第二叉臂的上表面。通过...
相关成果

标签云

相关机构

Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位:科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统