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一种真空管路系统

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种真空管路系统，包括连接管、真空泵以及分别与连接管两端连通的真空三通阀，所述连接管与真空泵连通，所述真空三通阀的开口A与大气连通，开口B与对应真空室连通，开口C与连接管连通，所述真空三通阀的开口B端通过连接支管与电磁阀的一个端口连通，所述电磁阀的另一端口通过气管与气囊连通，所述电磁阀还设置有与大气连通的端口，在所述连接支管上设置有用于检测连接支管内压力的压力检测器。本发明将热封装...
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