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新型标准气体配气装置

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本发明公开了一种新型标准气体配制装置,整套装置中原料气瓶经过滤器过滤后与原料控制阀连接,原料控制阀与高压调节系统连接,高压调节系统与压力传感器一连接后再与低压调节系统连接,低压调节系统与压力传感器二连接后分别与产品控制阀、放空控制阀、真空泵阀连接;产品置于电子天平上,压力传感器一和压力传感器二的信号和天平的数据均接入信号处理系统,同时信号处理系统还分别与数据处理系统、放空控制阀和真空泵连锁装置...
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