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用于高效晶硅电池的平板ALD设备开发

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　作为一种主要的清洁能源，太阳能被世界各国日趋重视。我国也在大力推进太阳能的利用。晶硅太阳能电池是目前我国大力发展的高科技产业之一，正在产生巨大的经济及社会效益。
　　目前常规的晶硅电池，背面采用全铝背场减少载流子复合，但是效果有限。ALD 氧化铝薄膜对P型晶硅电池背面及n型晶硅电池正面有极好的钝化效果，有效降低载流子复合，提升电池效率。该项目主要目的即是开发用于高效晶硅电池的平板A...
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