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大尺寸热场及配套工艺的研发

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本项目主要研究内容有以下几点:
  一是提高晶体产能、降低生产成本。通过增大热场尺寸,增大单炉投料可达680kg,减少停炉、拆清炉时间提高生产效率,提高晶体产能,同时有效降低石英坩埚和热场成本。
  二是研发大尺寸热场的生产工艺,形成产业化。热场尺寸的变化导致单晶生长的热系统改变,本项目利用比利时FEMAG软件对大尺寸热场进行模拟,主要针对热场熔体对流、热场功耗、单晶梯...
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