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施瓦茨光学系统波像差测量方法

2016年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种施瓦茨光学系统波像差测量方法，该方法基于光栅横向剪切干涉测量装置，测量时将待测施瓦茨光学系统置于所述光栅横向剪切干涉测量装置的针孔掩模和剪切光栅之间，测量步骤如下：
　　①获取x方向和y方向的横向剪切干涉图；
　　② 获取x方向和y方向的差分波前；
　　③获取待测波前的环Zernike多项式系数。
　　本发明的优点是将差分波前拟合得到差分环Z...
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