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光学元件表面缺陷筛查装置和筛查方法

2016年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　一种光学元件表面缺陷筛查装置和筛查方法，该装置的构成包括：脉冲激光源、电动位移台、聚焦透镜、PIN管、数据采集卡、计算机和固定件，待测的光学元件通过所述的固定件固定在所述的电动位移台上，在所述的脉冲激光源照射在所述的光学元件上反射后，在该反射光束方向依次设置所述的聚焦透镜和PIN管，所述的PIN管位于所述的该聚焦透镜的像平面；所述的PIN管输出的信号经所述的数据采集卡采集送所述的计算机，所述的...

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