在人造金刚石、集成电路清洗、刻蚀等微波等离子体应用领域，需要稳定度较高的微波生器，以产生稳定的微波信号，满足各领域应用需求。微波生器加热机理是基于微波与被加热物质分子之间的相互作用，并被吸收转换成热量。与红外加热、电炉加热、高频加热等加热方式相比，微波加热可以深入被加热物质内部，加热时热量直接来源于微波。
目前，由于微波等离子体化学气相沉积制备人造金刚石等领域微波发生器技术要求高，需求量大，国产化比例低，导致高度依赖进口，关键设备受制于人。而国外产品在价格高、交付周期长的同时，普遍采用风冷与水冷结合方式，单台设备需向工作环境排放大量热量，直接影响了生产装备布置，增加了降温成本，亟待解决。
针对上述问题，项目开展了水冷高稳定度微波发生器研制。项目创新研发了高质量直流灯丝电源及压频转换技术，改善了频谱质量，降低了频谱宽度。通过高频变压器隔离阳极高压，以及电压与频率信号转换，提高了灯丝电源电流的输出稳定性；开发了微波发生器控制技术，优化了磁控管最佳工作曲线及兼容适配系统，保证了微波发生器输出功率和系统运行稳定性，提高了磁控管使用寿命和电源适配性；设计了水冷微波发生器热交换结构。采用油箱将变压器与高压整流部分封闭，油箱内部安装水冷换热器的结构设计，明显降低了工作环境热量排放。
项目技术具有自主知识产权，已获国家授权发明专利及软件著作权。项目产品已通过安徽省电子产品监督检验所检测，并被宁波晶钻科技股份有限公司、成都稳正科技有限公司、四川大学电子信息学院等单位采用，实现了微波等离子体化学气相沉积制备人造金刚石等领域微波发生器的国产化替代，应用前景广阔。
项目咨询：王艳欣13371759156

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