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PECVD中特殊微结构碳膜的选择性生长机制研究

2016年

基础理论

成果简介

　　(1)课题来源与背景
　　含氢碳膜具有独特的超润滑特性和光学响应特性，在先进光电器件和精密机械领域有着广阔的应用前景。在含氢碳膜的诸多制备技术中，等离子体增强化学气相沉积（PECVD）最为流行。但是等离子体增强化学气相沉积技术中的碳膜选择性自组装机理是高性能碳膜制备过程中的挑战性基础课题．
　　(2)研究目的与意义
　　本项目将通过系统的分子动力学模拟，研究...

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