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突破核心技术的MEMS传感系统及产业化

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

项目背景：
传感技术是关于敏感元器件及传感器的设计制造、测试、应用的综合性技术，是构成现代信息技术和自动化技术的主要支柱之一，更是物联网不可或缺的前端技术。与传统电子机械系统相比，MEMS器件具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、功能强大、性能优异等优点；在许多传统器件无法满足需求的领域有着巨大的新增市场潜力。尽快将科研成果、中试或已经小批量生产的技术推向大规模产业化阶段...

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