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JGH-5000罗茨干式真空泵

2015年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

JGH-5000罗茨干式真空泵重点攻克了特殊结构设计、特殊表面处理工艺、特殊的一体化电机设计、特殊动密封结构等四项关键技术，形成了具有同类产品国际先进水平和完全自主知识产权的薄膜太阳能电池PECVD真空获得产品。
JGH-5000罗茨干式真空泵作为通用设备，适用于薄膜太阳能电池PECVD设备、刻蚀机、高质量薄膜材料生长等多种设备，能够为相关整机项目提供支撑，降低生产商设...

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