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平板式高效太阳能PECVD设备

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
平板式PECVD设备被公认为是当前及未来很长一段时间内制造减反射膜的最佳设备，是太阳能电池制造过程涉及的众多工序中最复杂最昂贵的设备之一。平板式高效太阳能PECVD设备攻克了沉积区V型槽技术、沉淀区宽加热技术、特殊的前钝化功能技术、分区式工艺进气技术、气路模块化扩展技术等5项关键技术，实现了使用同一系统在太阳能电池片正反面分别沉积氮化硅和三氧化二铝两种薄膜。平板式高效太阳能PECVD设备主...
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