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多场耦合运转态真空干泵设计技术及其应用

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
IC生产线（集成电路）是一系列主要工艺步骤如光刻、氧化、沉积、刻蚀、离子注入等的循环和重复，其中70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。IC装备洁净真空环境获得技术集成了稀薄气体流体力学、真空技术、微电子装备、精密流体机械加工技术、自动控制技术等多个学科的前沿高新技术。由于产业技术门槛高，干式真空泵的研发、生产与销售一直被几家国际跨国公司所垄断，如英国爱德华、德国莱宝、普发等，...
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