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含浮动电极的新型微等离子体器件

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种含浮动电极的新型微等离子体器件，该器件以铝箔为材料基底，铝箔上有密集的阵列微腔，微腔内部有一层氧化铝，作为介质层，如此可形成基本的Al/Al2O3/Al共面型电极结构，微腔两端尺寸较中间要大，仅在微腔的两端之间存有氧化铝，相邻微腔中间之间剩余有纯铝，并作为浮动电极，这样就形成完整的微型腔体阵列，同时微腔上下两侧已绝缘开来的两部分铝箔基底充当器件的两个电极，引出上下两个电极后，整...
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