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连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
  本发明涉及一种连续式多晶硅提纯结晶炉的加热装置,它包括复合加热装置、温度传感器、控温仪表。复合加热装置由炉膛侧部、上部、侧上部、侧下部布置加热元件组复合组成,长度方向多工位及高度方向温区不同功率复合控制,实现连续式定向凝固。采用上辅助加热元件组和侧部加热元件组构成,上辅助加热元件组和侧部加热元件组均为数支加热元件组成的加热元件组,实现产品定向凝固所需的温度梯度的要求,上部温区温度设定1436℃...
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