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化学气相沉积炉

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明涉及一种化学气相沉积炉。此类化学气相沉积炉大多是在原有真空炉的基础上改造而成，在生产过程中，操作工人要随时监视系统工作情况，发现隐患要立即解决，工人劳动强度相当大，用工成本高。本发明包括炉本体、炉体提升机构、炉盖提升机构、三级过滤系统、真空系统、加热器，加热器包括上区加热体、中区加热体、下区加热体；炉本体采用立式、内热式结构，包括炉盖、上炉体、下炉体、炉底。本发明采用整体式隔热屏，便于拆...
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