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无铅镥铋石榴石薄膜制备方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
无铅镥铋石榴石薄膜制备方法，属于电子材料领域，特别涉及石榴石薄膜材料的液相外延制备技术。本发明包括以下步骤：步骤一熔体制备：称量高纯氧化物原料Ｌｕ↓［2］Ｏ↓［3］和Ｂｉ↓［2］Ｏ↓［3］，研磨，混和后熔化并放置，然后降低温度至生长温度；步骤二清洗ＧＧＧ基片；步骤三将清洗好的基片与熔体液面保持3－15°，缓慢放入熔体中，准备外延生长；步骤四在生长过程中，基片以６0－100转／分的速率转动，...
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