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氢气压缩机氢封出口气体回收利用的方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
公司根据自身生产需求，对相关设备进行改造后，生成的发明型专利。一种氢气压缩机氢封出口气体回收利用的方法,涉及多晶硅生产领域,包括以下步骤:从氢压机氢封出口来的氢封气体经增压,略高于尾气回收装置低压端压力（管损）,与尾气回收装置的低压端进气汇集后送入尾气回收装置低压端;通过上述步骤实现氢压机氢封气体的回收利用。本发明提供的一种氢气压缩机氢封出口气体回收利用的方法,将现有技术中排入空气中的氢封...
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