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高精度固体润滑薄膜

2017年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　该技术成果来源于上海市科学技术委员会支持科技成果转化和产业化-大尺寸原子层沉积系统的研发（14521103200）中所取得研究成果。
　　在新型光电信息器件产业中，摩擦带来的能耗已经成为电子信息器件性能提高的主要障碍。因此，获得厚度高度可控、工艺简单、可重复性高的固体润滑光电薄膜的制备技术具有重要意义。现有的制备技术，如磁控溅射、气相沉积等，在材料制备过程中，对厚度控制、元素比例的...
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