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1×2高效率反射式光栅

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种中心波长为1064纳米TE偏振的1×2高效率反射式光栅，其结构为熔融石英基底上依次镀上铬膜、金膜和熔融石英膜，在熔融石英膜层上刻蚀矩形槽光栅，未被刻蚀的熔融石英膜层为连接层，光栅周期为2304～2308纳米，占空比为0.34～0.36，光栅深度为570～590纳米，连接层厚度133～143纳米。本发明在TE偏振光垂直入射时，可以实现中心波长1064纳米消零级且±1级衍射效率高于96%。本发...
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