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超薄ta-C 碳膜可控制备与性能研究

2017年 基础理论
  • 成果简介
  至今国内外学者围绕超薄 ta-C 碳膜制备与性能,已开展研究,但要获得所需的高性能超薄 ta-C 碳膜,一方面目前传统制备技术仍面临严峻挑战。另一方面,随着薄膜厚度减小,传统结构表征方法由于厚度尺寸带来的强关联效应和碳膜键态结构的复杂性导致结构表征存在局限性,关于超薄 ta-C 碳膜的制备、结构和力、光学性能的作用规律仍不清楚。综合实验和分子动力学理论研究,设计、制备高质量超薄 ta-C 碳膜...
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