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真空气相沉积反应法制备硅化石墨过程中防止粘结的方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种真空气相沉积反应法制备硅化石墨过程中防止粘结的方法，将已涂覆有高纯硅与助剂的石墨基材放入坩埚时，在上下叠放的相邻石墨基材之间以及坩埚与最下层石墨基材之间分别铺设总厚度不少于2.5mm的防黏剂层，然后再放入真空炉内通过真空气相沉积反应法制备硅化石墨；其中防黏剂层由三层依次铺设形成，三层从下往上分别为碳化硅粉下层、中间层、碳化硅粉上层，所述中间层为石英砂或碳粉或石英砂和碳粉任意比例...
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