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一种桥腿分离天线耦合微桥结构及其制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种桥腿分离天线耦合微桥结构及其制备方法，解决现有技术中金属薄膜的吸收率低，且天线种类与结构参数可调性差的问题；本发明包括衬底和设置在衬底上方的驱动电路，驱动电路上设置有电路接口，驱动电路的上方设置有带有桥面和桥腿的支撑层，支撑层与驱动电路之间具有由牺牲层制作而成的谐振腔，支撑层上的上方设置有与电路接口相互连接的电极引线层，电极引线层设置有电极引线接口，电极引线层的上方设置有能露出...
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