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基于超材料吸收器的太赫兹微测辐射热计及其制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本发明公开了一种基于超材料的太赫兹微测辐射热计及其制备方法,由超材料太赫兹吸收器和热探测器两部分组成。其中,热探测器包含微桥支撑层、热敏电阻薄膜、金属电极和钝化层四层材料。超材料太赫兹吸收器包含底层金属膜、中间介质层、顶层金属膜三层材料。本发明将超材料太赫兹吸收器与热探测器集成在一起,把超材料吸收太赫兹辐射产生的热量传递给热探测器,使热敏电阻薄膜的电学性能发生变化,由此实现太赫兹室温探测成像。...
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