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一种螺旋天线耦合微桥结构及其制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种螺旋天线耦合微桥结构及其制备方法，属于螺旋天线耦合微桥结构及其制备方法的技术领域，解决现有技术中金属薄膜的吸收率更低，且只能单独用作太赫兹辐射吸收层的问题。本发明包括衬底，设置在衬底上的驱动电路，驱动电路上设置的电路接口，设置在驱动电路和衬底上的牺牲层，支撑层、带馈点的螺旋天线层、可露出螺旋天线层馈点的钝化层自下而上依次设置在牺牲层上，在螺旋天线层的馈点处设置有氧化钒层，支撑层...
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