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一种微测辐射热计及其制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  一种微测辐射热计,包括微桥结构,该微桥结构中的热敏电阻材料和红外吸收材料层为碳纳米管-非晶硅复合膜,该碳纳米管-非晶硅复合膜是由一维碳纳米管和两维非晶硅薄膜复合而成,另该微桥结构为三层夹心结构:最底层是非晶氮化硅薄膜,作为微桥的支撑与绝缘材料;中间层是一层或者多层碳纳米管-非晶硅复合膜,其应力与底层氮化硅膜的性质相反,作为微测辐射热计的热敏感层和红外光吸收层;表层是非晶氮化硅薄膜,其应力与中间...
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