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用于移动超薄晶圆的真空吸盘装置2

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本实用新型提供一种用于移动超薄晶圆的真空吸盘装置。其包括吸盘、隔离环、真空管、密封板、电磁板和真空气缸；吸盘位于密封板下方，吸盘上具有多个真空吸孔；电磁板位于密封板上方且与密封板构成真空腔室；隔离环装在吸盘上，用于将吸盘划分为多个独立的吸附区，每一吸附区具有一个真空吸孔，且对应设有真空管；真空管的下端连接真空吸孔，真空管的上端连通真空腔室，且真空管的上端具有常闭磁性阀头；真空气缸位于电磁板上方...
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