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高功率离子源增强气相沉积技术研发

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
计划类别：对外合作研究开发项目

项目名称：高功率离子源增强气相沉积技术研发

项目编号：2014BHE0028

高功率离子源是因航天离子发动机发展起来的，国内离子源大都采用灯丝发射电子离化，灯丝寿命极大限制了离子源稳定工作时间，因而无法满足制备发动机部件厚膜所需的大等离子体密度、合理磁场布局...
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