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多脉冲组合泵浦的LPP-EUV光源系统

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种多脉冲组合泵浦的LPP?EUV光源系统，由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP?EUV发生装置和同步信号控制器构成。由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲，经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合，然后进入LPP?EUV发生装置作用于靶材，各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生。利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制，又可以通过调整泵浦脉...
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