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用于刻蚀BST薄膜的腐蚀液及制备方法

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　用于刻蚀BST薄膜的腐蚀液及制备方法，涉及一种可刻蚀高温晶化处理的BST薄膜的腐蚀液，属于微电子技术领域，特别涉及电子薄膜制备技术中的图形化过程。本发明其组分中含有HNO3，以体积比计算，BHF∶HNO3∶H2O＝a∶x∶b，其中0.5≤x≤3，1≤a≤2，5≤b≤6。本发明的有益效果是，本发明的腐蚀液能够较为彻底的腐蚀BST材料，并且边缘清晰，截面陡峭。...

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