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真空镀膜系统及其镀膜方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　现有真空镀膜系统对每批基片进行镀膜时，真空泵都必须对已达到标准大气压的真空室进行抽吸至真空状态，非常耗能。本发明提供了能够在真空泵开始工作前减小真空室压强，为真空泵节省能耗的真空镀膜系统及方法。本发明的真空镀膜系统，不仅包括具有镀膜部、真空室及真空泵的真空镀膜机，还包括：辅助减压装置，对真空室内空气进行抽吸，与真空室达到气压平衡状态；控制部，对真空镀膜机和辅助减压装置进行控制，其中，辅助减压装...
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