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轴锥镜面形的测量装置和测量方法

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种轴锥镜面形的测量装置和测量方法,该装置由移相干涉仪、平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜组成,其位置关系是:沿所述的移相干涉仪出射光束前进方向依次是所述的平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜,在所述的平面标准镜和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口。本发明具有装置结构简单、测量方法操作方便的特点。与在先技术相比,本发明的技术效果如下:
1.本发明可以实现任意锥角的轴锥镜的面形检...
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