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用于激光等离子体极紫外光刻光源纯化滤波装置

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于激光等离子体极紫外光刻光源的光谱纯化滤波装置，特点在于其构成依次包括表面镀膜的第一光栅、对于13.5nm光谱具有高透过率的薄金属片和表面镀膜的第二光栅，所述的第一光栅、第二光栅与薄金属片表面互相平行，第一光栅和第二光栅的线条方向相互垂直，光栅常数为10～150nm，占空比为40%～60%，厚度为1～10mm。薄金属片由锆或钼制成，厚度0.1～5mm。本发明装置结构简单，使激光等离子...
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