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碳净化炉设备优化改造研究

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
多晶硅生产的关键设备还原炉内石墨卡头、石墨卡瓣等是其主要消耗材料，在高纯度多晶硅生产的过程中，石墨中的杂质S、P、Ca、Fe、Al等杂质进入多晶硅基体，会影响多晶硅生长的纯度质量。目前国内多晶硅行业没有成熟的超高纯石墨净化工艺及设备。还原炉使用的石墨部件大都采用高纯度石墨棒加工而成，但内部存在的少量杂质对多晶硅产品质量仍有较大影响，尤其石墨里的磷，常规清洗，甚至采用超声波处理也很难除去，而...
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