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传感特性检测及质量控制的理论研究

2004年 基础理论
  • 成果简介
　　该项目在力敏电阻的非线性方面，在国际上首次发现零点的电漂移现象并给予了定义，指出了它对传感器性能的重要性和应作为技术指标之一；在压力传感器的特性方面，提出了反向漏电流对零点热漂移的影响；在控制力敏电阻的扩散杂质均匀性和改善零点及其热漂移重要性方面，提出了微区四探针技术可测扩散薄层电阻分布，最小可测尺寸为90-120μm。并针对传感器的封装的可靠性，首创了芯片的低温玻璃封接技术；针对引线可靠性，...
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