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聚焦离子束纳米加工方法及技术

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目属于先进制造领域。针对国民经济高速发展对于纳米功能器件和关键件的巨大需求，在国家863计划课题“光学微纳结构制造关键技术及应用”（项目编号：2012AA040405）、国家自然科学基金面上资助项目“纳米功能器件的聚焦离子束制造基础研究”(项目编号：51275559)、工信部科技重大专项，高档数控机床用长光栅制造及读数方法研究(项目编号：2011ZX04014-071)、国家973计划...
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