超高真空计是指能够准确测量10-7Pa以下真空度的精密测量仪器，在高能物理、核聚变、材料、光学、量子物理等高新技术领域应用广泛。长期以来，超高真空计的高端市场被欧洲、日本和美国等发达国家所垄断，致使目前国内此类型的真空计完全依赖进口。近年来51O所投入大量人力物力，攻克了真空测量过程中微弱信号检测、ESD效应限制、材料热出气等关键技术，成功开发了具有自主知识产权的LIP-UHVG1029型宽量程高精度热阴极超高真空计产品。
本产品硬件部分采用独特的工艺与制造技术，消除了电离规在长期运行状态下的应力变化，减小了测量误差；在电控部分采用最新的真空电离技术使真空测量下限达到了2×10-9Pa，对氮气灵敏度达到了0.18Pa-1，最终实现了低真空、高真空、超高真空范围的真空度精确测量，其主要性能指标达到甚至超过了国际先进水平，填补了国内外同类产品的市场空白。

    本产品基于具有自主知识产权（专利技术：一种真空计收集极离子流检测电路，极高真空测量中离子流检测电路以及一种真空电极封接结构）的精确测量技术，使离子流的分辨率达到了10fA，实现了低真空、高真空、超高真空范围的精确测量，对氮气灵敏度达到了0.18Pa-1；其次通过规管的工艺处理，攻克了真空测量ESD效应限制、材料热出气等影响超高真空性能关键技术，其主要性能指标达到甚至超过了国际先进水平。

    本产品技术源于真空低温技术与物理国家重点实验室及国防科技工业真空一级站长期以来在真空计量、测量分析等方面的技术优势，特别在fA级别下的离子流稳定采集以及电离规电离特性具有深厚的研究基础，在国内外核心期刊、重要会议上发表的相关理论基础和实践应用在电子真空行业产生了深远的影响，在国内行业领域具有绝对的话语权。

    本产品通过标准化的生产条件建设、固化生产工艺来进一步的压缩制造成本，提高产品的一致性和可重复性，从而提高产品的整体性能、生产能力以及核心竞争力。

    后期可通过技术优化，扩展产品功能，进一步形成全系列真空测量产品，同时依托51O所真空装备行业优势，促进市场开拓，占据国内超高真空测量领域的市场空白，形成可观的经济效益。

    热阴极真空计是超高真空甚至极高真空唯一实际可行的真空科学仪器。目前国内超高真空计最高水平的测量范围为: 10-2Pa-10-7Pa(成都正华ZJ-12 B-A规)；国外超高真空计测量范围最高水平为: 10-2Pa-10-10Pa( 德国leybold IE514)。本产品研制的线性测量范围达到2×10-2Pa-2×10-9Pa，可填补国内市场的在10-7Pa-10-9Pa量级上的市场空白。此外，随着我国高端真空装备领域的快速崛起，本产品可进一步的替代高端装备领域中真空测量部分的国外真空计，进一步提高市场知名度和影响力。

    08、产品级：批产合格、图纸完备、工艺成熟

    超高真空计主要应用于纳米材料、量子、光学、生物分析等基础科学研究以及加速器、核聚变、高能物理、表面技术等领域的真空测量。据统计，国内需求量达到300-500台套/年，每年产品销售额达3000万左右，超高真空计样机实测范围：3×10-2-1×10-9Pa，灵敏度0.18 Pa-1，相比国内超高真空计产品实测10-7Pa量级的测量下限，优于其2个数量级。本产品形成产业化后，其生产成本远远低于国外同类型产品，具有较高的性价比和较强的市场竞争力。

    初步向非标超高真空设备配套产品推广，目前与相关代理商达成初步合作意向，初期产品可投向非标超高真空设备开展试用推广，主要应用于高能加速器、SEM显微镜、表面分析仪器、超导装置、极端条件科学研究。

    通过超高真空计的研制生产，打造高性价比的品牌形象，在行业内形成知名度；其次进行产品升级优化，形成全量程真空测量仪器的生产加工能力，真空计年产量可稳定在数千套，年产值将达到数千万人民币，同时，以“产品+校准检测服务”模式，带动相关真空产品的产业化发展，扩大我所在民用市场的占有份额，促进军民融合发展。
本产品于2018年积极主动联系目标客户，在中国科学院近代物理研究所、合肥等离子体研究所的相关科研项目中实现了试用，取得良好的效果，得到了客户的认可。

    

    

    

2018年8月底，本真空计产品在中国近代物理研究所某加速器装置上进行了长时间的试用，形成了以下的试用结论：
在中国近代物理研究所完成了与国外真空计的比对试用，测量结果显示该真空计可以实现超高真空范围内压力的精确测量，具备国外产品的完全替代性，后期在科学研究、型号任务及民用产业中具有广泛的应用价值和显著的社会效益。