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用于气体传感器的双声路声表面波器件

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种用于气体传感器的双声路声表面波器件，包括两个全转移多条耦合器和两个输出换能器分别对称设置在输入换能器的左右两侧，全转移多条耦合器和输出换能器之间是区域，该区域的宽度，即全转移多条耦合器与输出换能器之间的距离为1微米到5厘米，全转移多条耦合器的长度等于输入换能器的最大声孔径与输出换能器的最大声孔径长度之和，并且全转移多条耦合器的上端与输入换能器的最大声孔径上端对齐，全转移多条...
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