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氧化物IGZO 薄膜技术

2014年

应用技术

成果简介

　　技术成果名称：氧化物IGZO 薄膜技术
　　技术成果简介：
　　IGZO 薄膜材料作为新一代TFT 有源层材料，比传统a-si 迁移率高10～20 倍，并且具有高的透过率，可以用来驱动OLED 显示器件以及透明显示器件，因此被国内外平板显示行业视为明星材料；但由于IGZO 材料易受到各膜层生长工艺，如气氛比例、生长温度、膜层厚度、膜层材料等因素的影响，其制作工艺复杂且...

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