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固态纳米孔芯片加工和生物单分子检测

2015年 应用技术
  • 成果简介
　　项目概述
　　本项目依托北京大学物理学院纳米结构与低维物理实验室，该实验室是固态纳米孔在国内研究的开创者，具有国际一流的科研实力。实验室掌握了各种先进的纳米孔器件制备技术，通过一系列可兼容的半导体微纳加工工艺，可以批量，大规模，可控的实现芯片级别（4英寸，包含500～600个纳米孔芯片）的纳米孔芯片加工。其中，纳米孔通过透射电子显微镜中高能电子束制备，尺寸在2～100 nm区间精确...
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