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金属玻璃过冷液相区超塑性微成形技术的基础研究

2017年 基础理论
  • 成果简介
  1、课题来源与背景
  随着大规模集成电路制造技术和以计算机为代表的微电子工艺的发展,越来越多的电子元件开始采用微成形技术进行生产。微成形技术是指通过塑性成形的加工方式生产毫米到微米量级的微型零件。许多工业发达国家,如美国、日本及欧洲已投入了大量资金资助微成形技术的研究。但是,对于晶体材料,当成形件尺寸微小化后,流动应力、延伸率及成形极限等对于坯料尺寸十分敏感,表现出明显的尺寸效应...
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