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一种自适应基板尺寸的真空吸附平台

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本实用新型公开了一种自适应基板尺寸的真空吸附平台，包括真空阀板(2)，和置于真空阀板(2)上的阵列分布有贯穿的吸附小孔(11)的真空吸附载板(1)，以及置于真空阀板(2)下的基座(3)，真空阀板(2)上阵列分布设置长方形沉槽(21)，长方形沉槽(21)底部为圆弧形面(212)，圆弧形面(212)底部中心设置一通孔(22)，长方形沉槽(21)中活动地置一长方形弹性膜片(24)。本实用新型能广...
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