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全钙钛矿结构铁电复合材料的结构与性能研究

2017年

基础理论

成果简介

　　该课题通过磁控和激光脉冲共溅射方法制备LAO-BST薄膜，并采用第一性原理分析得到全钙钛矿材料复合性能和工作机制，通过研究其硅集成过程中所需的导电阻档层材料Ti-Al的氧化机制得到，氧原子在其表面的分布特征。并制备了以Ti-Al为阻挡层的La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)/ Na0.5Bi0.5TiO3(NBT)/LSCO (LSCO/NBT/LSCO)异质结铁电电容器。Ti-Al阻挡层...

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