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项目名称
一种多晶硅装置的清洗方法
主要完成单位
北京蓝星清洗有限公司
协作单位
主要完成人
焦永涛，王波，邢朝政
奖励名称
专利奖
奖励等级
优秀奖
奖励年份
2018
专利号
ZL200810115557.4
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