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定向碳纳米管电路垂直互连集成技术研究

2014年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项目属于碳纳米管(CNT)互连集成方法及GLSI下一代布线互连应用的基础研究，是半导体科学、纳米材料与集成电路制造的交叉学科领域。
随着集成电路特征尺寸的进一步微细化，互连线所承载的电流密度越来越大，正在挑战Cu互连线的极限(106A/cm2)，尤其是ITRS预测技术时代进入32纳米后，互连线的电流承载密度将达107A/cm2，这将超越Cu布线的导电能力；而且随着特征...

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