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超快激光微纳制造机理及方法的基础研究

2014年 基础理论
  • 成果简介
本研究受科技部973计划、国家自然科学基金重大研究计划、国家重大科技专项、教育部长江学者奖励计划、教育部创新团队支持计划、国家杰出青年科学基金等资助。
由于超快激光在能量密度和作用时间等方面都可分别趋于极端,而使其制造过程所利用的物理化学效应、作用机理不同于传统制造,如非线性(多光子等)非平衡(电子间非平衡、电子与晶格间非平衡等)的吸收和非热相变(库仑爆炸、静电烧蚀等)...
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