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激光微纳制造基础研究

2014年 基础理论
  • 成果简介
激光微纳制造是利用超快激光与物质的动态非线性相互作用,实现超越光学衍射极限直至纳米精度的新原理数字化制造技术,具有适于三维复杂造型、适用材料广谱(透明介质、半导体、金属、陶瓷、高分子等硬、软、难加工材料)和加工精度高等优点,国际上已将其视作继光刻以后,光学贡献给人类的又一项具有革命性意义的新工艺。因此,在激光微纳制造相关领域基础研究上率先取得突破,掌握核心技术,对于我国超精细制造工艺的自主...
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