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超小型加速度计

2014年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

课题来源于国家863计划“汽车用MEMS传感器”实用化研究加速度计有广泛的应用，如汽车安全气囊和汽车悬挂系统，计算机硬盘驱动器保护，LCD投影仪，炸弹和导弹的精确爆震系统以及机械振动监视器。很多机械电子装置可用来测量加速度，如压阻和电容加速度计。
目前多数商用加速度计实际上是二维的，也就是说它们只能测量传感器芯片X-Y平面内的加速度。这是由于CMOS工艺结构的二维限制，...

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